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質(zhì)量流量控制器
簡要描述：

質(zhì)量流量控制器是控制和測量氣體流量的儀器，它們在各種工業(yè)應(yīng)用中都非常關(guān)鍵。MC標(biāo)準(zhǔn)系列設(shè)計(jì)旨在提供響應(yīng)式的氣體流量控制并抑制壓力波動(dòng)。MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設(shè)計(jì)用于處理較大氣體流量的儀器，具備多項(xiàng)功能和特性以滿足工業(yè)上對氣體流量控制的需求。MCW/MCRW低壓損系列設(shè)計(jì)的低壓損性能使得在氣體流動(dòng)過程中，壓力損失減小

更新時(shí)間：2025-12-19

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　　質(zhì)量流量控制器是控制和測量氣體流量的儀器，它們在各種工業(yè)應(yīng)用中都非常關(guān)鍵。
 

質(zhì)量流量控制器

 

　　以下是一些大家經(jīng)常選購的系列：
 
　　1 、MC標(biāo)準(zhǔn)系列
 
　　其設(shè)計(jì)旨在提供響應(yīng)式的氣體流量控制并抑制壓力波動(dòng)。以下是一些特點(diǎn)：
 
　　.高精度控制：能夠控制氣體的流量，確保流量保持在用戶設(shè)定值內(nèi)。這對于需要?dú)怏w流量控制的實(shí)驗(yàn)或工業(yè)應(yīng)用很重要。
 
　　.穩(wěn)定性能：該系列控制器性能穩(wěn)定，能夠有效抑制因壓力波動(dòng)導(dǎo)致的影響。
 
　　.無需溫度壓力補(bǔ)償：與某些流量計(jì)不同，測量值不會(huì)因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，因此不需要進(jìn)行溫度壓力補(bǔ)償，這是由于它們可直接測量通過傳感器的質(zhì)量流量。
 
　　.廣泛應(yīng)用：適用于多種氣體，并且在不同的工業(yè)和科研領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造、化學(xué)氣相沉積、燃燒系統(tǒng)等。
 
　　.可定制性：根據(jù)不同的應(yīng)用需求，可提供定制化的選項(xiàng)，以滿足特定的操作條件和性能要求。
 
　　.用戶界面友好：配備直觀的用戶界面，使得設(shè)置和調(diào)整流量參數(shù)變得簡單快捷。
 
　　.安全性：具備必要的安全特性，以確保在各種操作條件下的安全使用。
 

MC標(biāo)準(zhǔn)系列

 

　　2、MCR大流量系列
 
　　MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設(shè)計(jì)用于處理較大氣體流量的儀器，具備多項(xiàng)功能和特性以滿足工業(yè)上對氣體流量控制的需求。以下是一些詳細(xì)介紹：
 
　　. 適用多種標(biāo)準(zhǔn)工況：能夠在不同標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力下工作，提供三種工況供切換，允許用戶根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需求選擇合適的工作環(huán)境。
 
　　. 快速響應(yīng)：整合了快速響應(yīng)的比例調(diào)節(jié)閥與優(yōu)化的PID控制，能夠?qū)崿F(xiàn)控制響應(yīng)時(shí)間，這對于需要迅速調(diào)整流量的工藝來說非常關(guān)鍵。
 
　　. 適應(yīng)性高：無論是在高溫還是低溫環(huán)境下，MCR系列都能保持穩(wěn)定工作。
 
　　. 濕度適應(yīng)范圍廣：這些控制器可在廣泛的工作濕度范圍內(nèi)運(yùn)行而不會(huì)發(fā)生冷凝，讓在不同濕度條件下設(shè)備的正常運(yùn)行。
 

MCR大流量系列

 

　　3、MCW/MCRW低壓損系列的特點(diǎn)如下：
 
　　. 低壓損設(shè)計(jì)：這些控制器設(shè)計(jì)的低壓損性能使得在氣體流動(dòng)過程中，壓力損失減小，這對于保持系統(tǒng)的整體效率和成本效益較為重要。
 
　　. 層流差壓式原理：產(chǎn)品采用層流差壓式原理，這是一種通過測量流體流過傳感器時(shí)產(chǎn)生的壓力差來確定流量的方法，能夠?qū)崿F(xiàn)流量控制和測量。
 
　　. 多樣化應(yīng)用：適用于多種行業(yè)，包括實(shí)驗(yàn)科研、環(huán)境保護(hù)、生物醫(yī)藥、過程控制、能源化工、半導(dǎo)體等，顯示出它們的多功能性和適應(yīng)性。
 
　　. 兼容性：設(shè)計(jì)兼容多種類型的氣體和應(yīng)用，確保了在不同的操作條件下均能保持良好的工作性能。
 

MCW/MCRW低壓損系列

 

　　4、MCS/MCRS耐腐蝕系列
 
　　MCS/MCRS系列耐腐蝕系列是專為處理腐蝕性氣體而設(shè)計(jì)的高精度設(shè)備。以下是詳細(xì)介紹：
 
　　. 響應(yīng)速度: MCS/MCRS系列在通電后毫秒內(nèi)即可響應(yīng)，可以快速達(dá)到并保持設(shè)定值，滿足對快速控制有要求的應(yīng)用場合。
 
　　. 多變量數(shù)據(jù): 用戶能夠以選擇的工程單位控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力，并且設(shè)備能顯示瞬時(shí)流量、壓力和溫度讀數(shù)，方便監(jiān)控和調(diào)整過程參數(shù)。
 
　　. 易于集成: 設(shè)計(jì)考慮了與其他系統(tǒng)的集成需求，使得這些控制器能夠輕松地適配到現(xiàn)有的工業(yè)或科研系統(tǒng)中。
 
　　. 穩(wěn)定性: 除了快速響應(yīng)外，MCS/MCRS系列還能夠穩(wěn)定地控制目標(biāo)氣體的流量。
 
　　. 材料: 設(shè)備的接液部分使用耐腐蝕材料制成，能夠抵抗氣體腐蝕，延長使用壽命。
 

MCS/MCRS耐腐蝕系列

 

　　5、MCE/MCV半導(dǎo)體行業(yè)系列
 
　　MCE/MCV半導(dǎo)體行業(yè)系特別適用于半導(dǎo)體行業(yè)的真空應(yīng)用。
 
　　MCE系列主要針對低真空應(yīng)用；
 

MCE系列

 

　　MCV系列則適用于高真空應(yīng)用；
 

MCV系列

 

　　以下是詳細(xì)介紹：
 
　　. 多變量測量與控制：這些控制器能夠同時(shí)測量和控制多個(gè)變量，如質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，提供過程監(jiān)控。
 
　　. 多種氣體標(biāo)定：MCE/MCV系列支持多種氣體的標(biāo)定，這意味著它們可以在不同的氣體環(huán)境下保持流量控制。
 
　　. 量程可調(diào)比：這些控制器具備量程可調(diào)比，使得一臺(tái)設(shè)備就能覆蓋廣泛的應(yīng)用范圍，從而減少了對多臺(tái)設(shè)備的依賴。
 
　　. 快速響應(yīng)：MCE/MCV系列在控制響應(yīng)速度上與其標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器一樣快，這對于需要迅速調(diào)整流量的半導(dǎo)體工藝很重要。
 
　　. 緊密聯(lián)系：MCV和MCE系列在設(shè)計(jì)上緊密相關(guān)，采用的技術(shù)和應(yīng)用特性相輔相成，為不同真空條件下的應(yīng)用提供了解決方案。

質(zhì)量流量控制器

 


 
　　性能參數(shù)：

指標(biāo)

MFC

量程

0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）

重復(fù)性

±0.2%

量程比

200:1

響應(yīng)時(shí)間

100ms

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)

25℃&14.696PSIA （101.325kPa）

溫度范圍

-10～50

零點(diǎn)漂移

0.02％

量程漂移

0.02％

濕度范圍

0-100%

測量流量范圍

128％（過流率）

大耐壓

145psi

輸出信號（數(shù)字）

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

數(shù)字信號可選

RS485，Modbus，Profibus

輸出信號（模擬）

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

模擬信號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA

電氣連接

8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計(jì)而定）

供電電壓

7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）

供電電流

0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）
 

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