指標(biāo)

質(zhì)量流量控制器

量程

0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM

精度

±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）

重復(fù)性

±0.2%

量程比

200:1

響應(yīng)時間

100ms

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)

25℃&14.696PSIA （101.325kPa）

溫度范圍

-10～50

零點(diǎn)漂移

0.02％

量程漂移

0.02％

濕度范圍

0-100%

測量流量范圍

128％（過流率）

大耐壓

145psi

輸出信號（數(shù)字）

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

數(shù)字信號可選

RS485，Modbus，Profibus

輸出信號（模擬）

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

模擬信號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA

電氣連接

8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計(jì)而定）

供電電壓

7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）

供電電流

0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）