一、brooks氣體質量流量控制器概覽

Brooks的數字與模擬熱式質量流量控制器具有業(yè)界*的性能—我們的許多產品都已連續(xù)工作了20年以上。我們的新型熱式質量流量設備在響應時間、精度、可重復性、調節(jié)比及自診斷方面均具有顯著的優(yōu)勢。

我們的熱式質量流量產品還通過了多種防護（IP）認證，適用于多種危險場所。

二、brooks氣體質量流量控制器產品特點

• 較低的泄漏率
• 結構緊湊
• 內螺紋排氣口拋光處理
• 常閉閥
• 對安裝位置不敏感

三、brooks氣體質量流量控制器技術參數

• 數字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
• 介質:可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
• 流量范圍:0.03-30slpm
• 量程比：50:1
• 大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
• 氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
• 電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
• 精度:±1%FS
• 重復性：0.25% of rate
• 響應時間：1-3s
• 差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質、量程有關）
• 操作溫度范圍：5~65℃
• 輸出信號：0-5VDC或4-20mA
• 電源：+/-15V

?四、brooks氣體質量流量控制器其他系列產品

• SLA5800S---數字型氣體質量流量計/控制器
• SLA5800 enhanced series
• 4800 series
• 5800S series
• 5851EM