流量控制器是準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀器。由于溫度或壓力的波動(dòng)，測(cè)量值不會(huì)錯(cuò)位。不需要溫度和壓力補(bǔ)償。即使系統(tǒng)壓力波動(dòng)或環(huán)境溫度發(fā)生變化，也可以根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，自動(dòng)將流量恒定在設(shè)定值。它不會(huì)導(dǎo)致它偏離設(shè)定值。
流量控制器可以準(zhǔn)確控制給定量的氣體，用于不同氣體的比例控制，用于許多過(guò)程的流量控制。直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號(hào)，無(wú)需其他設(shè)備。
質(zhì)量流量控制器用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。
質(zhì)量流量計(jì)是一種準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。熱式流量開(kāi)關(guān)熱導(dǎo)式流量開(kāi)關(guān)。質(zhì)量流量控制器（MFC）中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門(mén)，閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程，在工作的過(guò)程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降，即壓差。
檢查出現(xiàn)偏差方法：
1、零點(diǎn)是否有漂移，首先需接通電源，質(zhì)量流量控制器信號(hào)為0的情況下，則需要用萬(wàn)網(wǎng)表測(cè)一下輸出信號(hào)值以及看一下電源控制器的反饋信號(hào)；
2、氣體是否純凈，如果盤(pán)路有污染，那么流量就肯定會(huì)收到影響，這個(gè)時(shí)候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專(zhuān)業(yè)維修點(diǎn)接受A／S；
3、質(zhì)量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標(biāo)定壓力，如果質(zhì)量流量控制器的壓力不夠就會(huì)出現(xiàn)達(dá)不到標(biāo)定量程。
